1. Magnetron sputtering विधि:
म्याग्नेट्रोन स्पटरिङलाई डीसी स्पटरिङ, मध्यम फ्रिक्वेन्सी स्पटरिङ र आरएफ स्पटरिङमा विभाजन गर्न सकिन्छ।
A. DC स्पटरिङ पावर सप्लाई सस्तो छ र जम्मा गरिएको फिल्मको घनत्व कम छ।सामान्यतया, घरेलु फोटोथर्मल र पातलो-फिल्म ब्याट्रीहरू कम ऊर्जाको साथ प्रयोग गरिन्छ, र स्पटरिङ लक्ष्य प्रवाहकीय धातु लक्ष्य हो।
B. आरएफ स्पटरिङ ऊर्जा उच्च छ, र स्पटरिङ लक्ष्य गैर-संवाहक लक्ष्य वा प्रवाहकीय लक्ष्य हुन सक्छ।
C. मध्यम आवृत्ति स्पटरिङ लक्ष्य सिरेमिक लक्ष्य वा धातु लक्ष्य हुन सक्छ।
2. स्पटरिङ लक्ष्यहरूको वर्गीकरण र आवेदन
त्यहाँ धेरै प्रकारका स्पटरिङ लक्ष्यहरू छन्, र लक्ष्य वर्गीकरण विधिहरू पनि फरक छन्।आकार अनुसार, तिनीहरू लामो लक्ष्य, वर्ग लक्ष्य र गोल लक्ष्यमा विभाजित छन्;संरचना अनुसार, यसलाई धातु लक्ष्य, मिश्र धातु लक्ष्य र सिरेमिक यौगिक लक्ष्यमा विभाजन गर्न सकिन्छ;विभिन्न अनुप्रयोग क्षेत्रहरू अनुसार, यसलाई अर्धचालक सम्बन्धित सिरेमिक लक्ष्यहरू, रेकर्डिङ मध्यम सिरेमिक लक्ष्यहरू, प्रदर्शन सिरेमिक लक्ष्यहरू, आदिमा विभाजन गर्न सकिन्छ। स्पटरिङ लक्ष्यहरू मुख्य रूपमा इलेक्ट्रोनिक र सूचना उद्योगहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै सूचना भण्डारण उद्योग।यस उद्योगमा, स्पटरिङ लक्ष्यहरू सान्दर्भिक पातलो फिल्म उत्पादनहरू (हार्ड डिस्क, चुम्बकीय हेड, अप्टिकल डिस्क, आदि) तयार गर्न प्रयोग गरिन्छ।हाल।सूचना उद्योगको निरन्तर विकासको साथ, बजारमा मध्यम सिरेमिक लक्ष्यहरू रेकर्ड गर्ने माग बढ्दै गएको छ।रेकर्डिङ मध्यम लक्ष्यहरूको अनुसन्धान र उत्पादन व्यापक ध्यानको केन्द्रबिन्दु भएको छ।
पोस्ट समय: मे-11-2022