हाल, आईसी उद्योगलाई आवश्यक पर्ने लगभग सबै उच्च-अन्त अल्ट्रा-उच्च शुद्धता धातु तामा लक्ष्यहरू धेरै ठूला विदेशी बहुराष्ट्रिय कम्पनीहरूले एकाधिकारमा छन्।घरेलु आईसी उद्योगलाई चाहिने सबै अल्ट्राप्योर कपर लक्ष्यहरू आयात गर्न आवश्यक छ, जुन महँगो मात्र होइन, तर आयात प्रक्रियामा पनि जटिल छ त्यसैले, चीनले तुरुन्तै अल्ट्रा-हाई शुद्धता (6N) तामा स्पटरिङ लक्ष्यहरूको विकास र प्रमाणीकरण सुधार गर्न आवश्यक छ। ।अति-उच्च शुद्धता (6N) तामा स्पटरिङ लक्ष्यहरूको विकासमा मुख्य बुँदाहरू र कठिनाइहरूलाई हेरौं।
1,अति उच्च शुद्धता सामग्री को विकास
चीनमा उच्च शुद्धताको Cu, Al र Ta धातुहरूको शुद्धिकरण प्रविधि औद्योगिक विकसित देशहरूमा भन्दा धेरै टाढा छ।हाल, प्रदान गर्न सकिने अधिकांश उच्च-शुद्धता धातुहरूले उद्योगमा परम्परागत सबै तत्व विश्लेषण विधिहरू अनुसार स्पटरिङ लक्ष्यहरूको लागि एकीकृत सर्किटहरूको गुणस्तर आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्दैनन्।लक्ष्यमा समावेशहरूको संख्या धेरै उच्च वा असमान रूपमा वितरण गरिएको छ।स्पटरिङको बेला वेफरमा प्रायः कणहरू बनाइन्छ, जसको परिणाममा सर्ट सर्किट वा इन्टरकनेक्टको खुला सर्किट हुन्छ, जसले फिल्मको प्रदर्शनलाई गम्भीर रूपमा असर गर्छ।
2,तामा स्पटरिङ लक्ष्य तयारी प्रविधिको विकास
तामाको स्पटरिङ लक्ष्य तयारी प्रविधिको विकासले मुख्यतया तीनवटा पक्षहरूमा केन्द्रित छ: अन्नको आकार, अभिमुखीकरण नियन्त्रण र एकरूपता।सेमीकन्डक्टर उद्योगसँग स्पटरिङ लक्ष्यहरू र कच्चा माल वाष्पीकरणको लागि उच्चतम आवश्यकताहरू छन्।यसको सतह अनाज आकार र लक्ष्य को क्रिस्टल अभिविन्यास को नियन्त्रण को लागी धेरै सख्त आवश्यकताहरु छ।लक्ष्य को अनाज आकार 100 मा नियन्त्रण गर्नुपर्छμ M तल, त्यसैले, धातु लक्ष्यहरूको विकासको लागि अनाजको आकारको नियन्त्रण र सहसम्बन्ध विश्लेषण र पत्ता लगाउने माध्यमहरू धेरै महत्त्वपूर्ण छन्।
3,विश्लेषणको विकास रपरीक्षण प्रविधि
लक्ष्यको उच्च शुद्धता भनेको अशुद्धताको कमी हो।विगतमा, अशुद्धताहरू निर्धारण गर्न इन्डक्टिवली मिल्ड प्लाज्मा (ICP) र परमाणु अवशोषण स्पेक्ट्रोमेट्री प्रयोग गरिन्थ्यो, तर हालका वर्षहरूमा, उच्च संवेदनशीलताको साथ ग्लो डिस्चार्ज क्वालिटी एनालिसिस (GDMS) लाई बिस्तारै मानकको रूपमा प्रयोग गरिएको छ। विधि।अवशिष्ट प्रतिरोध अनुपात RRR विधि मुख्यतया विद्युत शुद्धता को निर्धारण को लागी प्रयोग गरिन्छ।यसको निर्धारण सिद्धान्त अशुद्धता को इलेक्ट्रोनिक फैलावट को डिग्री मापन गरेर आधार धातु को शुद्धता को मूल्यांकन गर्न को लागी छ।किनभने यो कोठाको तापमान र धेरै कम तापक्रममा प्रतिरोध मापन गर्न हो, यो संख्या लिन सरल छ।हालका वर्षहरूमा, धातुहरूको सार अन्वेषण गर्न, अल्ट्रा-उच्च शुद्धतामा अनुसन्धान धेरै सक्रिय छ।यस अवस्थामा, RRR मूल्य शुद्धता मूल्याङ्कन गर्ने उत्तम तरिका हो।
पोस्ट समय: मे-०६-२०२२