स्पटरिङ टेक्नोलोजी र स्पटरिङ लक्ष्य र तिनीहरूका अनुप्रयोगहरू बीचको भिन्नता

हामी सबैलाई थाहा छ कि फिलिम सामग्री तयार गर्नको लागि स्पटरिङ मुख्य प्रविधिहरू मध्ये एक हो।यसले आयन स्रोतद्वारा उत्पादित आयनहरू प्रयोग गर्दछ भ्याकुममा एकत्रीकरणलाई द्रुत बनाउन उच्च-गति आयन बीम बनाउन, ठोस सतहमा बमबारी गर्न, र आयनहरूले ठोस सतहमा परमाणुहरूसँग गतिज ऊर्जा आदानप्रदान गर्दछ, ताकि ठोसमा परमाणुहरू। सतह ठोस छोड्नुहोस् र सब्सट्रेट सतहमा जम्मा गर्नुहोस्।बमबारेड ठोस भनेको थुकेर फिल्म जम्मा गर्ने कच्चा पदार्थ हो, जसलाई स्पटरिङ लक्ष्य भनिन्छ।

सेमीकन्डक्टर इन्टिग्रेटेड सर्किट, रेकर्डिङ मिडिया, प्लानर डिस्प्ले, टुल र डाइ सतह कोटिंग आदिमा विभिन्न प्रकारका स्पटरेड फिल्म सामग्रीहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ।

स्पटरिङ लक्ष्यहरू मुख्यतया इलेक्ट्रोनिक र सूचना उद्योगहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै एकीकृत सर्किटहरू, सूचना भण्डारण, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरीहरू, इलेक्ट्रोनिक नियन्त्रण उपकरणहरू, आदि;यो पनि गिलास कोटिंग को क्षेत्र मा प्रयोग गर्न सकिन्छ;यो पनि पहिरन-प्रतिरोधी सामग्री, उच्च तापमान जंग प्रतिरोध, उच्च-अन्त सजावटी उत्पादनहरू र अन्य उद्योगहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

त्यहाँ धेरै प्रकारका स्पटरिङ लक्ष्यहरू छन्, र लक्ष्यहरूको वर्गीकरणका लागि विभिन्न तरिकाहरू छन्:

संरचना अनुसार, यसलाई धातु लक्ष्य, मिश्र धातु लक्ष्य र सिरेमिक यौगिक लक्ष्यमा विभाजन गर्न सकिन्छ।

आकार अनुसार, यसलाई लामो लक्ष्य, वर्ग लक्ष्य र गोल लक्ष्यमा विभाजन गर्न सकिन्छ।

यसलाई माइक्रोइलेक्ट्रोनिक लक्ष्य, चुम्बकीय रेकर्डिङ लक्ष्य, अप्टिकल डिस्क लक्ष्य, बहुमूल्य धातु लक्ष्य, फिल्म प्रतिरोध लक्ष्य, प्रवाहकीय फिल्म लक्ष्य, सतह परिमार्जन लक्ष्य, मास्क लक्ष्य, सजावटी तह लक्ष्य, इलेक्ट्रोड लक्ष्य र अनुप्रयोग क्षेत्र अनुसार अन्य लक्ष्यहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ।

विभिन्न अनुप्रयोगहरू अनुसार, यसलाई अर्धचालक सम्बन्धित सिरेमिक लक्ष्यहरू, रेकर्डिङ मध्यम सिरेमिक लक्ष्यहरू, प्रदर्शन सिरेमिक लक्ष्यहरू, सुपरकन्डक्टिङ सिरेमिक लक्ष्यहरू र विशाल चुम्बकीय प्रतिरोधी सिरेमिक लक्ष्यहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ।