भ्याकुम कोटिंगमा स्पटरिङ लक्ष्यको भूमिका के हो

स्पटरिङ लक्ष्य सामग्रीको छनोटमा भ्याकुम प्लेटिङ मानिसहरूको लागि एक मुद्दा भएको छ, वर्तमानमा, स्पटरिङ कोटिंग, विशेष गरी म्याग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग कौशलको विकास, पातलो फिल्महरूको सामग्री तयारीलाई लक्षित गर्न सक्षम हुन कुनै पनि जानकारीको लागि भन्न सकिन्छ। आयन बमबारी द्वारा, किनभने सब्सट्रेट को प्रकार कोटिंग को प्रक्रिया मा लक्षित सामाग्री sputtering द्वारा, sputtering फिल्म को गुणस्तर मा एक महत्वपूर्ण प्रभाव छ, त्यसैले, लक्षित सामग्री आवश्यकताहरु अधिक कडा छन्।यहाँ हामी बेइजिङ रिलेक्सेसनको सम्पादकसँग भ्याकुम कोटिंगमा स्पटरिङ लक्ष्यको भूमिकाको बारेमा सिक्नेछौं।

一, लक्ष्य सामग्रीको चयन सिद्धान्त र वर्गीकरण

लक्षित सामग्रीको छनोटमा, फिल्मको प्रयोगको अतिरिक्त, निम्न समस्याहरू पनि विचार गर्नुपर्छ:

समस्या 1. झिल्लीको प्रयोग र कार्यसम्पादन आवश्यकताहरू अनुसार, लक्षित सामग्रीको लागि शुद्धता, पत्रिका सामग्री, कम्पोनेन्ट एकरूपता, मेसिनिंग सटीकता र यस्तै अन्य प्राविधिक आवश्यकताहरू पूरा गर्न आवश्यक छ।

समस्या 2. लक्षित सामग्रीमा राम्रो मेकानिकल बल र फिल्म गठन पछि रासायनिक स्थिरता हुनुपर्छ;

समस्या 3. प्रतिक्रियात्मक स्पटरिङ फिल्मको रूपमा प्रतिक्रिया ग्याससँग सजिलै संग कम्पाउन्ड फिल्म उत्पन्न गर्न फिल्म सामग्रीको लागि आवश्यक छ;

समस्या 4. लक्ष्य र म्याट्रिक्स बलियो हुन सेट गर्न आवश्यक छ, अन्यथा, म्याट्रिक्स संग राम्रो टाँसिएको फिल्म सामग्री अपनाउनु पर्छ, पहिले तल्लो फिलिम को एक तह स्पटर र त्यसपछि आवश्यक फिल्म तह तयार;

प्रश्न 5. फिल्मको कार्यसम्पादन आवश्यकताहरू पूरा गर्ने आधारमा, लक्ष्यको थर्मल विस्तार गुणांक र म्याट्रिक्स बीचको भिन्नता जति सानो हुन्छ, उति राम्रो हुन्छ, ताकि स्पटरिङ फिल्मको थर्मल तनावको प्रभावलाई कम गर्न सकिन्छ;

धेरै सामान्य रूपमा प्रयोग हुने लक्ष्यहरूको तयारी

(१) करोड लक्ष्य

क्रोमियमलाई स्पटरिङ फिलिम सामग्रीको रूपमा आधारभूत सामग्रीसँग जोड्न सजिलो मात्र होइन उच्च आसंजन छ, र क्रोमियम र अक्साइड CrQ3 फिल्म, यसको यांत्रिक गुण, एसिड प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता राम्रो छ।

बेइजिङ रुईची हाई-टेक कं, लिमिटेड मुख्य रूपमा संलग्न: टाइटेनियम लक्ष्य जिरकोनियम लक्ष्य, एल्युमिनियम लक्ष्य, निकल लक्ष्य, क्रोमियम लक्ष्य, टंगस्टन लक्ष्य, मोलिब्डेनम लक्ष्य, तामा लक्ष्य, सिलिकन लक्ष्य, निओबियम लक्ष्य, ट्यान्टलम लक्ष्य, टाइटेनियम-सिलिकन मिश्र धातु लक्ष्य, टाइटेनियम-नियोबियम मिश्र धातु लक्ष्य, टाइटेनियम-टंगस्टन मिश्र धातु लक्ष्य, टाइटेनियम-जिरकोनियम मिश्र धातु लक्ष्य, निकल-क्रोमियम मिश्र धातु लक्ष्य, सिलिका-एल्युमिनियम मिश्र धातु लक्ष्य, निकल-भ्यानेडियम मिश्र धातु लक्ष्य, क्रोमियम-एल्युमिनियम-सिलिकन टर्नरी मिश्र लक्ष्य，Ti al si तिर्नरी मिश्र धातु लक्ष्य सामग्री, व्यापक रूपमा सजावट / कडा सतह र कार्यात्मक कोटिंग, वास्तु गिलास, फ्ल्याट डिस्प्ले / अप्टिकल फोटोइलेक्ट्रिक, अप्टिकल भण्डारण, इलेक्ट्रोनिक्स, मुद्रण र अन्य व्यवसायहरूमा प्रयोग गरिन्छ।